Новые поступления (книга в стадии обработки) Кремниевые планарные транзисторы [Текст] : научное издание / В. Г. Колесников [и др.] ; ред. Я. А. Федотов. - М. : Советское радио, 1973. - 336 с. : ил., граф., табл., черт. ; 21 см. - Библиогр.: с. 323-333 (250 назв.). - 1.51 р.
Рубрики: Электроника--Транзисторы Кл.слова (ненормированные): ПЛАНАРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- МАЛОСИГНАЛЬНЫЕ ПАРАМЕТРЫ -- ИМПУЛЬСНЫЕ СВОЙСТВА ТРАНЗИСТОРОВ -- СВЧ ТРАНЗИСТОРЫ -- ВЫСОКОВОЛЬТНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ Аннотация: В книге изложены основы планарной технологии и законы распределение примесей в транзисторах. Описаны особенности переходных процессов и методы повышения пробивных напряжений. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Колесников, В. Г. Никишин, В. И. Сыноров, В. Ф. Петров, Б. К. Федотов, Я. А. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Мазель, Е. З. Планарная технология кремниевых приборов [Текст] : научное издание / Е. З. Мазель, Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1974. - 384 с. : черт. ; 20 см. - Библиогр.: с. 368-382. - 1.27 р.
Рубрики: Электроника--Электронные приборы Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ ПРИБОРЫ -- ДИОДЫ -- ТРАНЗИСТОРЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПЛАНАРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ПЛАНАРНЫЕ ПРИБОРЫ -- КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЭПИТАКСИЯ Аннотация: Рассматриваются процессы, лежащие в основе планарной технологии изготовления кремниевых приборов - диодов, транзисторов и интегральных схем. Подробно излагаются вопросы, связанные с важнейшими операциями планарного технологического процесса: подготовкой кремниевых пластин, созданием маскирующих и пассивирующих слоев на их поверхности, диффузией, фотолитографией и эпитаксией. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Пресс, Ф. П. |