Новые поступления (книга в стадии обработки) Физико-химические аспекты технологии микро-и оптоэлектроники [Текст] : межвуз. сб. науч. тр. / отв. ред. Ю. П. Хухрянский ; Воронеж. политехн. ин-т. - Воронеж : ВПИ, 1991. - 133 с. ; 20см. - ISBN 5-230-04430-6 : 2.50 р.
Рубрики: Электроника--Оптоэлектроника Кл.слова (ненормированные): электроника -- микроэлектроника -- оптоэлектроника -- пленочные структуры -- полупроводники -- диэлектрики -- эпитаксия -- анизотропия -- гетероэпитаксия -- ионная имплантация -- легированные пьезоэлектрики -- тензорезисторы -- магнетронное распыление Аннотация: Рассмотрены физико-химические процессы формирования пленочных структур на основе полупроводников и диэлектриков. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Хухрянский, Ю. П. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Сушенцов, Н. И. Основы технологии микроэлектроники [Текст] : лаб. практикум / Н. И. Сушенцов, В. Е. Филимонов ; Мар. гос. техн. ун-т (Йошкар-Ола). - 3-е изд., перераб. и доп. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2005. - 184 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 184 (9 назв.). - ISBN 5-8158-0366-9 : 40.00 р. Гриф: допущено УМО по образованию в обл. радиотехники, электроники, биомед. техники и автоматизации в качестве лаб. практикума для студ. вузов, обучающихся по спец. 200800, 220500 и направлениям 551100, 654300.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНЫЕ ЭЛЕКТРОУСТАНОВКИ -- ВАКУУМ -- РЕЗИСТИВНО-ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- СВЕРХПРОВОДНИКИ -- ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ СВЕРХПРОВОДНИКИ -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ДУГОВОЕ ИСПАРЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ Аннотация: Представлены практические рекомендации по работе на вакуумных электроустановках. Изложены теоретические основы тонкопленочной микроэлектроники. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Филимонов, В. Е. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Берлин, Е. В. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии [Текст] : справочное издание / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2010. - 528 с. : ил. ; 25 см . - (Мир материалов и технологий). - ISBN 978-5-94836-222-9 : 605.00 р.
Рубрики: Обработка материалов--Плазменная обработка Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- МАГНЕТРОН -- ПЛАЗМА -- ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ Аннотация: Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Сейдман, Л. А. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Практикум по волновой электронике и микроэлектронике [Текст] : технология микроэлектроники. . Часть 3 / Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского ; ред.: Ю. В. Гуляев, Н. И. Синицын. - Саратов : Издательство Саратовского национального государственного университета имени Н. Г. Чернышевского, 2000. - 62 с. - ISBN 5-292-02569-0 : 6.00 р. Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника Кл.слова (ненормированные): алюминий -- вакуум -- вакуумные схемы -- волновая электроника -- интегральные схемы -- кремнийсодержащие материалы -- магнетронное распыление -- микроэлектроника -- оксид алюминия -- оксиды -- плазма -- плазменное распыление -- пленки -- свч -- свч-плазма -- сложные структуры -- травление -- физико-химические методы Аннотация: Представлены работы связанные с изучением особенностей плазмохимической технологии травления кремнийсодержащих материалов Держатели документа: Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Буянова, З. И. Захарченко, Ю. Ф. Князев, С. А. Синицын, Н. И. Гуляев, Ю. В. Синицын, Н. И. |