Новые поступления (книга в стадии обработки) Папков, В. С. Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе [Текст] : научное издание / В. С. Папков, М. Б. Цыбульников ; под ред. А. Ю Малинина. - М. : Энергия, 1979. - 88 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 85 . - 0.25 р.
Рубрики: Электротехника--Электротехнические материалы Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ -- ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ -- ВЫРАЩИВАНИЕ САПФИРА -- ВЫРАЩИВАНИЕ ШПИНЕЛИ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА -- ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ КРЕМНИЯ -- ДИОДНЫЕ МАТРИЦЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ИЗОЛИРУЮЩИЕ ПОДЛОЖКИ Аннотация: Рассматривается получение гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирование на их основе интегральные схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также подготовка диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Цыбульников, М. Б. Малинин, А. Ю |