Новые поступления (книга в стадии обработки)
    Мягков, А. Т.
    Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники [Текст] : научное издание / А. Т. Мягков, Е. М. Корсетов. - М. : Энергия, 1979. - 312 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 305-310. - 1.10 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
АГРЕССИВНО-СТОЙКИЕ МАТЕРИАЛЫ -- ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ КЛАПАНЫ -- ЛАБИРИНТНЫЙ НАСОС -- ЦЕНТРИФУГИ
Аннотация: Приведены конструкции, основные технические характеристики и методика расчета и конструирования аппаратуры регулирования и управления химико-технологическими процессами.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Корсетов, Е. М.