Новые поступления (книга в стадии обработки) Миколайчук, А. Г. Физико-технологические основы синтеза полупроводниковых пленок [Текст] : учеб. пособие / А. Г. Миколайчук, Д. М. Френк, В. М. Шперун. - Львов : ЛГУ, 1978. - 112 с. : ил. ; 20см. - 0.20 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые пленки Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пленки -- пленки -- эпитаксия Аннотация: Изложены основы получения и синтеза полупроводниковых пленок халькогенидов металлов IY B подгруппы, а именно синтез пленок в "открытом" вакууме, осаждение из равновесного пара в квазизамкнутом объеме. Особое внимание уделено физико-технологическим основам техники синтеза, определяющим структурное совершенство и электрофизические параметры пленок. Для студентов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Френк, Д. М. Шперун, В. М. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Миколайчук, А. Г. Процессы старения и окисления полупроводниковых пленок [Текст] : учеб. пособие / А. Г. Миколайчук, Д. М. Френк, В. М. Шперун ; под ред. И. В. Кавича ; Львовский ордена Ленина гос. ун-т им. Ив. Франко. - Львов : Вища школа, 1979. - 104 с. : ил., табл. ; 20 см. - Библиогр.: с. 99-102. - 0.15 р.
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Физика--Полупроводники Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ -- КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА -- ТЕРМИЧЕСКОЕ РАЗЛОЖЕНИЕ -- ТЕРМООТЖИГ ПЛЕНОК -- ТЕМПЕРАТУРНАЯ ОБРАБОТКА Аннотация: В пособии изложены кристаллохимия соединений халькогенидов IV B подгруппы, а также физико-химические превращения, происходящие в кристаллах, порошках и пленках при взаимодействии с кислородом. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Френк, Д. М. Шперун, В. М. Кавич, И. В. |