Новые поступления (книга в стадии обработки) Введение в фотолитографию [Текст] : научное издание / Е. С. Боков [и др.] ; под ред. В. П. Лаврищева. - М. : Энергия, 1977. - 400 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 379-397. - 1.47 р.
Рубрики: Электроника--Фоторезисторы Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ВОСПРОИЗВЕДЕНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ -- РЕНТГЕНОВСКИЕ ЛУЧИ -- ФОТОРЕЗИСТОРЫ Аннотация: Освещены основные проблемы фотолитографии и оценены перспективы ее развития. Рассмотрены свойства фоторезисторов, процессы образования фоторезисторных покрытий. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Боков, Е. С. Корсаков, В. С. Мишачев, В. И. Лубашевская, А. В. Лаврищев, В. П. |