Новые поступления (книга в стадии обработки) Комаров, Фадей Фадеевич. Ионная имплантация диэлектриков [Текст] : научное издание / Ф. Ф. Комаров, А. В. Леонтьев. - Минск : БГУ [изд.], 2010. - 190, [2] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 187-189 (72 назв.). - ISBN 978-985-518-363-2 : 135.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): диэлектрические материалы -- диэлектрики -- заряженные частицы -- ионное легирование -- трековая электроника -- ионная имплантация -- диэлектрические микроволноводы Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Доп. точки доступа: Леонтьев, Александр Викторович |