Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 620.3(075.8) Автор(ы) : Биленко, Давид Исаакович, Белобровая, Ольга Яковлевна, Вениг, Сергей Борисович, Галушка В. В. Заглавие : Методы и средства контроля процессов и структур in situ: учебное пособие для студентов, магистрантов и аспирантов направлений "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии" : в 2 ч./ Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. - (Материаловедение и технология новых материалов). Ч. 1 Выходные данные : Саратов: Издательство Саратовского университета, 2014 Колич.характеристики :199, [1] с.: ил., табл. Коллективы : Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского Примечания : Библиогр.: с. 187 (5 назв.) ISBN, Цена 978-5-292-04289-1: 404.03 р. УДК : 620.3(075.8) Предметные рубрики: техника-- материаловедение Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): технологические процессы (тп)--сканирующая туннельная технология--in situ--методология технологии--температура объектов--газовые потоки--наноструктуры--пленки--сверхрешетки--прогнозирование--микротехнология--нанотехнологии--материаловедение Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Доп. точки доступа: Биленко, Давид Исаакович Белобровая, Ольга Яковлевна Вениг, Сергей Борисович Галушка, В. В. Биленко, Давид Исаакович Вениг, Сергей Борисович

Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 620.3 Автор(ы) : Биленко, Давид Исаакович, Вениг, Сергей Борисович, Терин, Денис Владимирович, Белобровая, Ольга Яковлевна Заглавие : Многопараметровая диагностика микро- и наноструктур : научное издание Выходные данные : Саратов: Издательство Саратовского университета, 2015 Колич.характеристики :132, [2] с.: граф., ил., табл. Коллективы : Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского Серия: Материаловедение и технология новых материалов/ гл. ред. С. Б. Вениг Примечания : Библиогр.: с. 129-131 (35 назв.) ISBN, Цена 978-5-292-04350-8: 234.19 р. УДК : 620.3 + 621.38-022.532 Предметные рубрики: техника-- материаловедение радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноструктуры--микроструктуры--наносистемы--микросистемы--многопараметровая диагностика--многослойные структуры--композиты--вычислительный эксперимент Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Доп. точки доступа: Биленко, Давид Исаакович Вениг, Сергей Борисович Терин, Денис Владимирович Белобровая, Ольга Яковлевна

Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 620.3(075.8) Автор(ы) : Биленко, Давид Исаакович, Вениг, Сергей Борисович, Терин, Денис Владимирович, Белобровая, Ольга Яковлевна Заглавие : Методы и средства контроля процессов и структур in situ: учебное пособие для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по направлениям "Физика и астрономия", "Информатика и вычислительная техника", "Электроника, радиотехника и системы связи", "Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии", "Технологии материалов", "Управление в технических системах" : в 2 ч./ Сарат. нац. исслед. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. Ч. 2 Выходные данные : Саратов: Издательство Саратовского университета, 2016 Колич.характеристики :114, [2] с.: рис. Коллективы : Сарат. нац. исслед. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского Серия: Материаловедение и технология новых материалов/ гл. ред. С. Б. Вениг Примечания : Библиогр. в конце разд. ISBN, Цена 978-5-292-04393-5: 324.31 р. УДК : 620.3(075.8) Предметные рубрики: техника-- материаловедение Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноструктуры--in situ--многопараметровые измерения--спектральная эллипсометрия--спектрофотометрия--массоперенос--рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия--материаловедение--нанотехнологии--обработка данных--контроль Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Доп. точки доступа: Биленко, Давид Исаакович Вениг, Сергей Борисович Терин, Денис Владимирович Белобровая, Ольга Яковлевна Биленко, Давид Исаакович Вениг, Сергей Борисович