Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Моро, У.$<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

   Моро, У.
    Микролитография. Принципы, методы. материалы [Текст] : в 2ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - .
   Ч. 1. - 1990. - 605 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 595-602 (266 назв.). - ISBN 5-03-001716-X : 60.00 р.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.382.049.77

ББК 32.85

Рубрики: Электроника--МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- полупроводниковая технология -- ФОТОРЕЗИСТЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Аннотация: Рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

   Моро, У.
    Микролитография. Принципы, методы, материалы [Текст] : в 2 ч. пер. с англ. / У. Моро ; под ред. Р. Х. Тимерова. - М. : Мир, 1990 - .
   Ч. 2. - 1990. - 632 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001717-8 : 50.00 р.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.382.049.77

ББК 32.85

Рубрики: Электроника--МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- экспонированные резистные структуры -- безрезистная технология
Аннотация: Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Тимеров, Р. Х. \\ред.\\
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)