Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>A=Шнаревич, Е. И.$<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Шнаревич, Е. И.
Диэлектрики интегральных схем [Текст] : научное издание / Е. И. Шнаревич, О. А. Рыбинский, В. А. Злобин. - М. : Энергия, 1975. - 120 с. : ил. ; 20 см. - (Б-ка радиотехнолога ; вып. 5). - Библиогр.: с. 111-118 (146 назв.). - 0.35 р.

ГРНТИ	47.41
УДК	621.382-18

Рубрики: Электроника--Радиоэлектронные схемы

Кл.слова (ненормированные):
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СХЕМЫ -- НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ВЕЩЕСТВА -- ОРГАНИЧЕСКИЕ ВЕЩЕСТВА -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ -- ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
Аннотация: Книга посвящена изготовлению и применению диэлектрических пленок в микроэлектронной аппаратуре, кратко рассмотрены методы получения диэлектрических пленок из различных классов неорганических (окислов, нитридов, фторидов) и органических веществ и принципиальные схемы применяемых для этой цели установок. Приведены основные диэлектрические параметры пленок в зависимости от технологических режимов их изготовления. Рассмотрены характеристики диэлектрических пленок, обеспечивающие их использование в многослойных системах.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Рыбинский, О. А.
Злобин, В. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)