| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска
Электронный каталог
ЭБС "ЛАНЬ"
ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")
ЭБС "ЮРАЙТ"
ЭБС "АЙБУКС"
ЭБС "РУКОНТ"
ЭБС "IPRBOOKS"
ЭБС "BOOK.ru"
Электронная библиотека
Известные деятели культуры в Саратовской губернии
Работы В. А. Артисевич и литература о ней
Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья
Публикации учёных СГУ
Краеведческий обзор
Поступления журналов в ЗНБ СГУ
БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ
БД выпускных квалификационных работ
Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Готра, Зенон Юрьевич$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

    Готра, Зенон Юрьевич.
    Технология микроэлектронных устройств [Текст] : справочник / З. Ю. Готра. - Москва : Радио и связь, 1991. - 528 с. : граф., рис., табл. - Библиогр. : с. 526 (22 назв.). - ISBN 5-256-00699-1 : 4 р.
    Содержание:
Методы получения, очистки и легирования монокристаллических материалов
Механическая обработка кристаллов полупроводниковых материалов
Полупроводниковые подложки и физико-химические методы обработки их поверхности
Диффузия в полупроводниках
Технология эпитаксиальных слоев
Ионная имплантация
Технология тонких пленок
Фотошаблоны и технология их изготовления
Литографические процессы в технологии микроэлектронных устройств
Сборка микроэлектронных устройств
Герметизация микроэлектронных устройств
ББК 32.84

Рубрики: Радиоэлектроника--Общая радиотехника

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные устройства -- монокристаллические материалы -- полупроводниковые материалы -- тонкие пленки
Аннотация: Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю,обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств.
Держатели документа:
Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова)
Найти похожие
 
Стандартный (по одному полю)
По словарю (по одному полю)
Профессиональный (по нескольким полям со словарями)
Распределенный (г. Саратов)
Расширенный
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)