Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

В текущей базе данных найдено документов :7

В других БД по вашему запросу найдено:

Электронный каталог (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>U=621.382.049.77.002<.>)

Общее количество найденных документов : 7
Показаны документы с 1 по 7

Броудай, Ивор.
Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication : учеб. пособие / И. Броудай, Д. Мерей ; . - Москва : Мир, 1985. - 494, [2] с. : ил. - Библиогр. - ISBN [Б. и.] (в пер.) : 35.00 р.

УДК

621.382.049.77.002

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- пучки частиц -- тонкие пленки -- микроэлектроника -- субмикронная микроскопия -- микрозонды
Держатели документа:
Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского

Доп. точки доступа:
Мерей, Джоулис

Найти похожие

Карбань, В. И.
Обработка монокристаллов в микроэлектронике [Текст] / В. И. Карбань. - М. : Радио и связь, 1988. - 104 с. : ил. ; 21см. - (Массовая б-ка инженера "Электроника"). - ISBN 5-256-00139-6 : 0.40 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77.002

ББК 32.843

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- микроэлектроника -- монокристаллы -- обработка монокристаллов -- анизотропия обрабатываемости монокристаллов
Аннотация: Изложены особенности обработки монокристаллов,имеющих широкое применение в микроэлектронике.Приведены основные процессы, инструменты и оборудование.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Полтавцев, Ю. Г.
Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [Текст] / Ю. Г. Полтавцев. - Киев : Тэхника, 1990. - 206 с. : ил. ; 20см. - ISBN 5335005726 : 0.70 р.

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.382.049.77.002

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- химическая обработка поверхности -- удаление загрязнений -- плазмохимическая обработка поверхности -- лазерная очистка поверхности
Аннотация: Освещена прогрессивная технология очистки поверхностей кремниевых пластин в производстве интегральных схем:химическая обработка поверхности на скрубберах,в кислотных и основных растворах,в растворах с использованием поверхностно-активных веществ,удаление загрязнений в низкотемпературной плазме,очистка с использованием лазерного излучения.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Технология СБИС [Текст] : в 2 кн. / под ред. С. Зи ; пер. с англ. Ю. Д. Чистякова. - М. : Мир, 1986.Кн. 1. - 1986. - 404 с. : ил. ; 23см. - Библиогр.: с. 400-402. - 3.00 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77.002

ББК 31.233

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- интегральные микросхемы -- СБИС -- кремниевые ИС -- монокристаллы кремния -- эпитаксиальные слои -- осаждение пленок -- термическое окисление -- окисление -- диффузия -- ионная имплантация -- геттерирование -- литография
Аннотация: Освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Зи, С. \\ред.\\
Чистяков, Ю. Д. \\пер.\\
Найти похожие

Микроэлектронная технология и ее влияние на общество [Текст] : сб.статей / Пер.с англ.В.А.Свириденко. - М. : Знание, 1987. - 160 с. : ил. ; 20см. - 0.50 р.

ГРНТИ	47.33.37
УДК	621.382.049.77.002

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микропроцессоры -- компьютер -- надежность -- микроэлектронные системы
Аннотация: Рассказывается о современном состоянии микроэлектроники,ее возможностях и ограничениях,о ее применениях в различных областях техники и в быту.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Пилипенко, В. А.
Быстрые термообработки в технологии СБИС [Текст] : монография / В. А. Пилипенко. - Минск : Изд. центр БГУ, 2004. - 531 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 525-527 (30 назв.). - ISBN 985-476-251-3 : 80.00 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77.002

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника--Интегральные микросхемы

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- технология СБИС -- быстрые термообработки -- нагрев пластин -- лазерное геттерирование -- ионнолегирированные слои -- эпитаксиальные пленки -- диэлектрические пленки -- планаризация -- дисилицид титана -- кремниевые структуры
Аннотация: Рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Технология СБИС [Текст] : в 2 кн. / под ред. С. Зи [и др.] ; пер. с англ. В. Н. Лейкина. - М. : Мир, 1986.
Кн. 2. - 1986. - 453 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 437-438. - 2.30 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77.002

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- БИПОЛЯРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация: В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС, методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Зи, С. \\ред.\\
Лейкин, В. Н. \\пер.\\
Чистяков, Ю. Д. \\ред.\\
Петров, В. Б. \\ред.\\
Эйдельман, Б. Л. \\ред.\\
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)