Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

В текущей базе данных найдено документов :1

В других БД по вашему запросу найдено:

Электронный каталог (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.382:620.3(075+035)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Кирееев, Валерий Юрьевич.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование [Текст] : учебно-справочное руководство / В. Ю. Кирееев. - Долгопрудный : Издательский дом "Интеллект", 2016. - 319, [1] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 314-319 (111 назв.). - ISBN 978-5-91559-215-4 (в пер.) : 1331.00 р.

УДК

621.382:620.3(075+035)

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- нанотехнологии -- нанолитография -- интегральные микросхемы -- фотолитография -- наноимпринтная литография -- электронная литография
Держатели документа:
Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)