Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.315.592.002+621.382.002<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия [Текст] : научное издание / И. М. Скворцов [и др.]. - М. : Энергия, 1978. - 136 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 129-131. - 0.50 р.

ГРНТИ	45.09.31
УДК	621.315.592.002+621.382.002

Рубрики: Электротехника--Полупроводники

Кл.слова (ненормированные):
ГАЗОРАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ГАЗОВОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- АВТОЛЕГИРОВАНИЕ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ
Аннотация: Рассмотрены вопросы эпитаксиальной технологии, требования к эпитаксиальным слоям кремния и германия, технологические приемы и аппаратура, обеспечивающие выполнение этих требований и получение эпитаксиальных слоев с заданными свойствами.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Скворцов, И. М.
Лапидус, И. И.
Орион, Б. В.
Кожитов, Л. В.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)