Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=сложные структуры<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Практикум по волновой электронике и микроэлектронике [Текст] : технология микроэлектроники. . Часть 3 / Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского ; ред.: Ю. В. Гуляев, Н. И. Синицын. - Саратов : Издательство Саратовского национального государственного университета имени Н. Г. Чернышевского, 2000. - 62 с. - ISBN 5-292-02569-0 : 6.00 р.

ББК 32.85я73

Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника

Кл.слова (ненормированные):
алюминий -- вакуум -- вакуумные схемы -- волновая электроника -- интегральные схемы -- кремнийсодержащие материалы -- магнетронное распыление -- микроэлектроника -- оксид алюминия -- оксиды -- плазма -- плазменное распыление -- пленки -- свч -- свч-плазма -- сложные структуры -- травление -- физико-химические методы
Аннотация: Представлены работы связанные с изучением особенностей плазмохимической технологии травления кремнийсодержащих материалов
Держатели документа:
Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова)

Доп. точки доступа:
Буянова, З. И.
Захарченко, Ю. Ф.
Князев, С. А.
Синицын, Н. И.
Гуляев, Ю. В.
Синицын, Н. И.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)