| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска
Электронный каталог
ЭБС "ЛАНЬ"
ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")
ЭБС "ЮРАЙТ"
ЭБС "АЙБУКС"
ЭБС "РУКОНТ"
ЭБС "IPRBOOKS"
ЭБС "BOOK.ru"
Электронная библиотека
Известные деятели культуры в Саратовской губернии
Работы В. А. Артисевич и литература о ней
Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья
Публикации учёных СГУ
Краеведческий обзор
Поступления журналов в ЗНБ СГУ
БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ
БД выпускных квалификационных работ
Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>KL=субмикронная литография<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.

    Силадьи, М.
    Электронная и ионная оптика [Текст] : пер. с англ. / М. Силадьи. - М. : Мир, 1990. - 639 с. : ил. ; 21см. - ISBN 5-03-001634-1 : 4.00 р.
ГРНТИ
29.05
29.31
УДК
537.533
ББК 22.833

Рубрики: Физика--Электронные явления

   Физика--Оптика

Кл.слова (ненормированные):
физика -- оптика -- электронная оптика -- ионная оптика -- элементарные частицы -- электронно-лучевые приборы -- спектрометры -- электрические поля -- магнитные поля -- аксиально-симметрические поля -- теория аберраций -- электростатические линзы -- магнитные линзы -- мультипольные линзы -- отклонение пучков -- субмикронная литография
Аннотация: Книга посвящена электронной и ионной оптике, которая находит все более широкое применение при создании ускорителей элементарных частиц, электронно-лучевых приборов, спектрометров, установок для субмикронной литографии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие
2.

    Валиев, К. А.
    Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 352 с. : ил. ; 21см. - 2.80 р.
Библиогр.224 назв.
ГРНТИ
47.33
УДК
621.382.049.77

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ионно-лучевая литография -- электроника -- микроэлектроника -- субмикронная литография -- фотолитография -- субмикронная фотолитография -- литография -- электронные пучки -- ионные пучки -- рентгеновское излучение -- ультрамягкое излучение -- ионно-лучевая литография
Аннотация: Излагается физика формирования электронных и ионных пучков малых и средних энергий, а также пучков ультрамягкого рентгеновского излучения. Рассматриваются физические явления, возникающие при взаимодействии пучков указанных типов с веществом.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Раков, А. В.
Найти похожие
 
Стандартный (по одному полю)
По словарю (по одному полю)
Профессиональный (по нескольким полям со словарями)
Распределенный (г. Саратов)
Расширенный
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)