Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=геттерирование<.>)

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

Силовая преобразовательная техника [Текст] / В. Е. Челноков, Ю. В. Жиляев. - М. : ВИНИТИ, 1986 - .
Т.4 : Силовые полупроводниковые приборы. - 1986. - 108 с. ; 21см. - 0.90 р.

ГРНТИ	45.37
УДК	621.314

Рубрики: Электротехника--Преобразовательная техника

Кл.слова (ненормированные):
электротехника -- преобразовательная техника -- силовые приборы -- кремний -- геттерирование -- сверхвысоковольтные диоды -- тиристоры -- фототиристоры -- симисторы -- транзисторы -- эпитаксия
Аннотация: Рассмотрены технологические методы в производстве кремниевых силовых приборов на основе широкозонных материалов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Челноков, В.Е.
Жиляев, Ю.В.
Найти похожие

Таруи, Я.
Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Текст] / Я. Таруи ; пер. с япон. В. А. Лазарева ; под ред. В. Г. Ржанова. - М. : Радио и связь, 1985. - 480 с. : ил. ; 22см. - 2.70 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
сверхминиатюризация -- интегральные схемы -- полупроводниковые интегральные схемы -- электронно-лучевая литография -- электроны -- электроннооптические системы -- методы совмещения -- эффект близости -- искажения изображения -- компенсация изгибов пластины -- сканирование излучения -- перенос рисунков -- контроль шаблонов -- дефекты шаблонов -- электронорезисторы -- СБИС -- геттерирование -- сухое травление -- плазменное травление -- технология лазерного отжига
Аннотация: Рассмотрены методы электронно-лучевой,фото-и рентгеновской литографии,применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем.Дана классификация различных типов дефектов,методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов.Обсуждаются принципы работы технологического и контрольно-измерительного оборудования,а также способы повышения качества шаблонов и структур СБИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Лазарев, В. А.
Ржанов, В. Г.
Найти похожие

Технология СБИС [Текст] : в 2 кн. / под ред. С. Зи ; пер. с англ. Ю. Д. Чистякова. - М. : Мир, 1986.Кн. 1. - 1986. - 404 с. : ил. ; 23см. - Библиогр.: с. 400-402. - 3.00 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77.002

ББК 31.233

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- интегральные микросхемы -- СБИС -- кремниевые ИС -- монокристаллы кремния -- эпитаксиальные слои -- осаждение пленок -- термическое окисление -- окисление -- диффузия -- ионная имплантация -- геттерирование -- литография
Аннотация: Освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Зи, С. \\ред.\\
Чистяков, Ю. Д. \\пер.\\
Найти похожие

   Перевощиков, В. А.
    Геттерирование примесей и дефектов в полупроводниках [Текст] : монография / В. А. Перевощиков, В. Д. Скупов. - Нижний Новгород : Изд-во Нижегород. ун-та, 2002.
   Ч. 1. - 2002. - 220 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 215-220 (102 назв.). - ISBN 5-85746-701-2 : 60.00 р.

ГРНТИ	29.19.31
УДК	537.311.32

ББК 22.379

Рубрики: Физика--Полупроводники

Кл.слова (ненормированные):
физика -- полупроводники -- геттерирование -- примеси -- дефекты -- микроэлектронные устройства
Аннотация: Изложены основные сведения по физике и механизмам геттерирования примесей и дефектов в полупроводниках и структурах на их основе.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Скупов, В.Д.
Найти похожие

Электроника [Текст] : сб. науч. тр. / Всесоюз. ин-т науч. и техн. информ. (Москва); гл. ред. П. В. Нестеров. - М. : ВИНИТИ, 1966 - . - (Итоги науки и техники).
Т. 27 : Интегральные микросхемы и функциональные устройства / науч. ред. В. А. Марасанов. - 1990. - 175 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр. в конце ст. - Б. ц.

ГРНТИ	47.05
УДК	621.37/39

Рубрики: Электроника--Радиоэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ГИБРИДНЫЕ МЕТОДЫ -- ПЛАЗМЕННЫЕ УСТРОЙСТВА -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ -- ЭФФЕКТ ХОЛЛА
Аннотация: Рассмотрены интегральные микросхемы и функциональные устройства. Рассказано об приборах на основе структур с квантово-размерным эффектом, плазменных устройствах со скрещенными полями в технологии СБИС, внутренних и внешних геттерах в кремниевых пластинах, квантовом эффекте Холла.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Марасанов, В. А.
Нестеров, П. В. \\гл. ред.\\
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)