Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРОЦЕССЫ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] / под ред. Дж. Р. Брюэра ; пер. с англ. Ф. П. Пресса = Electron-beam tehnology in microelectronic fabrication / edited by G. R. Brewer : научное издание. - М. : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 316-328. - 1.90 р.
Тит. л. парал. на англ. яз.

ГРНТИ	47.29.29
УДК	621.382.049.77.002:621.7/9.048

Рубрики: Электроника--Электронно-лучевые приборы

Кл.слова (ненормированные):
ЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННЫЙ ЛУЧ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ УСТАНОВКИ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ ШАБЛОНОВ -- МЕТОДЫ РЕПРОДУЦИРОВАНИЯ
Аннотация: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Брюэр, Дж. Р. Brewer G. R.
Пресс, Ф. П.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)