Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

В текущей базе данных найдено документов :1

В других БД по вашему запросу найдено:

ЭБС "ЛАНЬ" (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=эмульсия<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Мокеев, О. К.
Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебник / О. К. Мокеев. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1985. - 312 с. : ил. ; 20см. - ISBN 4 : 0.60 р.

ГРНТИ	47.03.05.01.33	47.33.37.01.33
УДК	621.382.002+621.382.049.77(075.3)

ББК 32.852

Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы--Микроминиатюрные полупроводниковые приборы

Кл.слова (ненормированные):
фильтры -- фильтрация -- эмульсия -- адсорбция газов -- фотолитография -- ионное травление -- фотошаблоны
Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитогрфии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства их контроля, оборудование. Во втором издании (1-е - в 1979 г.) описаны сухое травление рабочих материалов, а также методы электронно- и рентгенолитографии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)