Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=фотошаблоны<.>)

Общее количество найденных документов : 11
Показаны документы с 1 по 11

Мокеев, О. К.
Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебник / О. К. Мокеев. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1985. - 312 с. : ил. ; 20см. - ISBN 4 : 0.60 р.

ГРНТИ	47.03.05.01.33	47.33.37.01.33
УДК	621.382.002+621.382.049.77(075.3)

ББК 32.852

Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы--Микроминиатюрные полупроводниковые приборы

Кл.слова (ненормированные):
фильтры -- фильтрация -- эмульсия -- адсорбция газов -- фотолитография -- ионное травление -- фотошаблоны
Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитогрфии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства их контроля, оборудование. Во втором издании (1-е - в 1979 г.) описаны сухое травление рабочих материалов, а также методы электронно- и рентгенолитографии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Готра, З. Ю.
Технология микроэлектронных устройств [Текст] : справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил. ; 23см. - 4.00,60.00 р.

ГРНТИ	47.03.05
УДК	621.382.049.77.002(083)

ББК 32.844

Рубрики: Электроника--Микроэлектронная аппаратура

Кл.слова (ненормированные):
монокристаллические материалы -- полупроводниковые материалы -- диффузия -- ионная имплантация -- тонкие пленки -- фотошаблоны -- микроэлектронные устройства
Аннотация: Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких плёнок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надёжности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Войчинский, А. М.
Гибкие автоматизированные производства. Управление технологичностью РЭА [Текст] / А. М. Войчинский, Н. И. Диденко, В. П. Лузин. - М. : Радио и связь, 1987. - 272 с. : ил. ; 21см. - 1.40 р.

ГРНТИ	47.13.15
УДК	621.396.6.002:658.52.011.56.012.3

Рубрики: Радиотехника--Радиоэлектронная аппаратура

Кл.слова (ненормированные):
радиоэлектронная аппаратура -- гибкие автоматизированные производства -- технологичность РЭА -- фотошаблоны -- радиоэлектронное производство
Аннотация: Рассмотрены направления механизации и автоматизации радиоэлектронного производства. Описаны структуры ГАП, изложены принципы построения типовых модулей, используемых в таком производстве, показана сущность процесса обеспечения технологичности РЭА в условиях ГАП.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова)

Доп. точки доступа:
Диденко, Н. И.
Лузин, В. П.
Найти похожие

Селютин, В. А.
Автоматизированное проектирование топологии БИС [Текст] : научное издание / В. А. Селютин. - М. : Радио и связь, 1983. - 112 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 106-112 (109 назв.). - 0.40 р.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.382.049.77

ББК 32.844

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--БИС

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- интегральные микросхемы -- БИС -- топология -- фотошаблоны -- трассировка -- матричные БИС -- МДП-структуры
Аннотация: Дается систематизированное изложение задач и методов автоматизированного проектирования топологии и разработки фотошаблонов интегральных микросхем. Особое внимание уделяется решению с помощью ЭВМ задач размещения компонентов и трассировки соединений микросхем повышенной степени интеграции. Приводятся примеры реализации. Освещаются основные тенденции развития систем автоматизированного проектирования топологии интегральных микросхем.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Медведев, А. М.
Печатные платы. Конструкции и материалы [Текст] / А. М. Медведев. - М. : Техносфера, 2005. - 304 с. : ил. ; 22 см. - (Мир электроники). - ISBN 5-94836-026-1 : 206.15 р.

ГРНТИ	47.14.17	47.13.15
УДК	621.396.6.049.75

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Радиоэлектроника--Печатные платы

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- радиоэлектроника -- печатные платы -- конструирование -- базовые материалы -- фотошаблоны -- системы совмещения -- изготовление печатных плат
Аннотация: Описаны схемы процессов,системы совмещений,технологии формирования топологического рисунка.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Введение в фотолитографию [Текст] : научное издание / Е. С. Боков [и др.] ; под ред. В. П. Лаврищева. - М. : Энергия, 1977. - 400 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 379-397. - 1.47 р.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.382.049

Рубрики: Электроника--Фоторезисторы

Кл.слова (ненормированные):
ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ВОСПРОИЗВЕДЕНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ -- РЕНТГЕНОВСКИЕ ЛУЧИ -- ФОТОРЕЗИСТОРЫ
Аннотация: Освещены основные проблемы фотолитографии и оценены перспективы ее развития. Рассмотрены свойства фоторезисторов, процессы образования фоторезисторных покрытий.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Боков, Е. С.
Корсаков, В. С.
Мишачев, В. И.
Лубашевская, А. В.
Лаврищев, В. П.
Найти похожие

Бахтин, Б. И.
Автоматизация в проектировании и производстве печатных плат радиоэлектронной аппаратуры [Текст] : научное издание / Б. И. Бахтин. - Л. : Энергия, 1979. - 120 с. : ил. ; 20 см. - (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып. 18). - 0.35 р.

ГРНТИ	47.14
УДК	621.396.6.049.75

Рубрики: Радиотехника--Радиоэлектронная аппаратура

Кл.слова (ненормированные):
ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- АВТОМАТИЗИРОВАННОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ -- ТРАССИРОВКА ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ
Аннотация: Изложены методы и средства автоматизации изготовления фотошаблона печатных плат.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Московкин, Л. Н.
Фотохимическое фрезерование [Текст] : научное издание / Л. Н. Московкин, В. И. Ошарин. - М. : Машиностроение, 1978. - 93 с. : ил. ; 19 см. - (Б-ка приборостроителя). - 0.30 р.

ГРНТИ	55.19
УДК	621.9.047+621.914

Рубрики: Обработка материалов--Фрезерная обработка

Кл.слова (ненормированные):
ТРАВЛЕНИЕ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ФОТОРЕЗИСТЫ -- ТОНКОЛИСТОВОЙ МЕТАЛЛ -- ПЛОСКИЕ ДЕТАЛИ
Аннотация: Рассмотрены основные вопросы технологии изготовления тонколистовых деталей методом химического фрезерования (травления). Подробно изложены процессы изготовления оригиналов и фотошаблонов для получения рисунка деталей сложного профиля, даны рекомендации по выбору режимов обработки, а также рассмотрены применяемая оснастка и оборудование. Приведены характеристики материалов (фоторезистов, травильных растворов и пр.), применяемых при химическом фрезеровании различных металлов, а также указаны особенности технологического процесса, влияющие на получение деталей с заданной точностью.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Ошарин, В. И.
Найти похожие

Майоров, С. А.
Технология производства вычислительных машин [Текст] : учеб. пособие / С. А. Майоров, А. М. Скворцов. - М. : Изд-во "Высшая школа", 1974. - 376 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 360-370 (24 назв.) . - 1.12 р.
Гриф: допущено М-вом высш. и сред. спец. образования СССР в качестве учеб. пособия для студентов вузов, обучающихся по спец. "ЭВМ"

ГРНТИ	50.33.01.33
УДК	681.142(075)

Рубрики: Вычислительная техника--Электронные вычислительные машины

Кл.слова (ненормированные):
ЗАПОМИНАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- РЕЗИСТОРЫ -- КОНДЕНСАТОРЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ИЗОЛЯЦИЯ -- ЗАПОМИНАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА
Аннотация: В книге изложены основы теории и практика производства электронных вычислительных машин третьего и частично четвертого поколений. Описаны технология производства интегральных микросхем, технология сборки, монтажа и испытания модулей и других сборочных единиц микроминиатюрного исполнения, а также технология производства основных элементов электромеханических и электронных устройств ввода и вывода информации в ЭВМ.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Скворцов, А. М.
Найти похожие

10.

Пресс, Ф. П.
Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : научное издание / Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1968. - 200 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 191-199. - 0.79 р.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.382.002:655.345

Рубрики: Электроника--Полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
ФОТОРЕЗИСТЫ -- РАДИОЭЛЕКТРОНИКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ТЕХНИКА -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ДИФФУЗИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОЕ ПРОИЗВОДСТВО
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

11.

Курносов, Анатолий Иванович.
Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для ВУЗов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 3-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1986. - 367 с. - Библиогр.: с. 363. - Предм. указ.: с. 364-365. - 1.30 р.

ББК 32.852-06

Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника

Кл.слова (ненормированные):
СВЧ-диапазон -- антимонид галлия -- антимонид индия -- арсенид галлия -- арсенид индия -- германий -- диффузионные структуры -- диэлектрические пленки -- защитные пленки -- имс -- интегральные микросхемы -- интерметаллические соединения -- ионная имплантация -- ионно-плазменное распыление -- конструкции корпусов -- кремний -- лазерные технологии -- нитридные пленки кремния -- полупроводниковые материалы -- полупроводниковые пластины -- полупроводниковые подложки -- пособия для вузов -- р-п-переход -- радиация -- рентгенолитография -- сборка полупроводниковых приборов -- термическое испарение -- тонкие пленки -- фосфид галлия -- фотолитография -- фоторезисторы -- фотошаблоны -- эпитаксиальное наращивание
Аннотация: В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Держатели документа:
Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова)

Доп. точки доступа:
Юдин, Владимир Васильевич
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)