Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=удаление загрязнений<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Полтавцев, Ю. Г.
Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [Текст] / Ю. Г. Полтавцев. - Киев : Тэхника, 1990. - 206 с. : ил. ; 20см. - ISBN 5335005726 : 0.70 р.

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.382.049.77.002

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- химическая обработка поверхности -- удаление загрязнений -- плазмохимическая обработка поверхности -- лазерная очистка поверхности
Аннотация: Освещена прогрессивная технология очистки поверхностей кремниевых пластин в производстве интегральных схем:химическая обработка поверхности на скрубберах,в кислотных и основных растворах,в растворах с использованием поверхностно-активных веществ,удаление загрязнений в низкотемпературной плазме,очистка с использованием лазерного излучения.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)