Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=технология СБИС<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Технология СБИС [Текст] : в 2-х кн. / под ред. С. Зи; пер. с англ. под ред. Ю. Д. Чистякова. - М. : Мир, 1986. - 453 с. : ил. ; 23см. - 2.30 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.771

ББК 31.233

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- интегральные микросхемы -- СБИС -- технология СБИС -- кремниевые ИС -- сухое травление -- металлизация -- металлизация ИС -- эпитаксия -- ионная имплантация -- диффузия -- окисление -- литография -- осаждение -- травление -- моделирование приборов -- топографирование -- герметизация -- герметизация
Аннотация: Освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества,металлизации ИС,моделирования основных технологических процессов формирования ИС.Описаны основные технологические системы изготовления элементов СБИС,методы исследования и контроля технологических процессов,герметизация готовых ИС,тестирование и надежность готовых ИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Зи, С.
Найти похожие

Пилипенко, В. А.
Быстрые термообработки в технологии СБИС [Текст] : монография / В. А. Пилипенко. - Минск : Изд. центр БГУ, 2004. - 531 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 525-527 (30 назв.). - ISBN 985-476-251-3 : 80.00 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77.002

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника--Интегральные микросхемы

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- технология СБИС -- быстрые термообработки -- нагрев пластин -- лазерное геттерирование -- ионнолегирированные слои -- эпитаксиальные пленки -- диэлектрические пленки -- планаризация -- дисилицид титана -- кремниевые структуры
Аннотация: Рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)