Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=субмикронная фотолитография<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Валиев, К. А.
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 352 с. : ил. ; 21см. - 2.80 р.
Библиогр.224 назв.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.382.049.77

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ионно-лучевая литография -- электроника -- микроэлектроника -- субмикронная литография -- фотолитография -- субмикронная фотолитография -- литография -- электронные пучки -- ионные пучки -- рентгеновское излучение -- ультрамягкое излучение -- ионно-лучевая литография
Аннотация: Излагается физика формирования электронных и ионных пучков малых и средних энергий, а также пучков ультрамягкого рентгеновского излучения. Рассматриваются физические явления, возникающие при взаимодействии пучков указанных типов с веществом.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Раков, А. В.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)