Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=оптическая литография<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов [Текст] : научное издание / под ред. П. Антонетти [и др.] ; пер. с англ.: В. Л. Кустова, В. М. Петрова, О. В. Селляховой. - М. : Радио и связь, 1988. - 496 с. : ил. ; 21см. - ISBN 5-256-00130-2 : 4.10 р.

ГРНТИ	47.14.07
УДК	621.382.049.771

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
технология БИС и СБИС -- диффузия в кремнии -- ионная имплантация -- оптическая литография -- моделирование топографии
Аннотация: Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем и электрических характеристик их основных элементов-МОП-транзисторов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Антонетти, П.
Антониадис, Д.
Даттон, Р.
Оулдхем, У.
Кустов, В. Л.
Петров, В. М.
Селляхова, О. В.
Найти похожие

Плазменная технология в производстве СБИС [Текст] / под ред.: Н. Айнспрука, Д. Брауна ; пер. с англ. : Ю. М. Золотарева, В. В. Юдина. - М. : Мир, 1987. - 469 с. : ил. ; 22см. - Библиогр.: с. 461. - 3.40,38.00 р.
Пред.-имен. указ. с.: 463

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.771.14.002:621.7/9.048.7

ББК 31.233

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
диффузионный барьер -- силициды -- металлизация затвора -- травление -- параметры -- интегральные микросхемы -- СБИС -- осаждение -- литография -- ионно-плазменные методы -- флюоресценция -- излучение -- лазер -- масс-спектрометрия -- механизм травления -- оптическая литография
Аннотация: Рассмотрены вопросы физики,химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.Книга является своеобразной энциклопедией по физике и химии процессов осаждения,литографии и травления с применением ионно-плазменных методов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Айнспрук, Н.
Браун, Д.
Золотарев, Ю. М.
Юдин, В. В.
Найти похожие

Хорин, И. А.
Технологии электронной компонентной базы [Текст] : учеб. пособие / И. А. Хорин. - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 280 с. : ил. ; 22 см. - (Университетский учебник). - Библиогр.: с. 275-276 (27 назв.). - ISBN 978-5-4486-0210-8 : 50.00 р.

ГРНТИ	47.33.01.33
УДК	621.382.049.77(075.8)

ББК 32.844

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКИЕ ОТЖИГИ -- МИКРОСХЕМЫ -- НАНОСТРУКТУРЫ -- ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- КРЕМНИЙ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ -- ТОЛСТОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги. сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии "Кремний на изоляторе" и формированию систем многоуровневой металлизации ИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)