Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=литографические процессы<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Боровцов, П. В.
Литографические процессы в микроэлектронике [Текст] : учеб. пособие / П. В. Боровцов ; Пермский гос. техн. ун-т. - Пермь : ПГТУ, 1995. - 59 с. : ил.11 ; 20см. - Библиогр.: с. (20 назв.). - ISBN 5881510437 : 2500р. р.

ГРНТИ	47.33.31.01.33
УДК	621.382.049.77(075.8)

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
микросхемы -- микропроцессоры -- литографические процессы
Аннотация: Рассмотрены литографические процессы, являющиеся наиболее ответственными операциями при изготовлении интегральных микросхем и микропроцессоров. Для студентов специальности "Измерительно-вычислительные комплексы", а также для студентов и инженеров, занимающихся технологией микроэлектроники.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Найти похожие

Хорин, И. А.
Технологии электронной компонентной базы [Текст] : учеб. пособие / И. А. Хорин. - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 280 с. : ил. ; 22 см. - (Университетский учебник). - Библиогр.: с. 275-276 (27 назв.). - ISBN 978-5-4486-0210-8 : 50.00 р.

ГРНТИ	47.33.01.33
УДК	621.382.049.77(075.8)

ББК 32.844

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКИЕ ОТЖИГИ -- МИКРОСХЕМЫ -- НАНОСТРУКТУРЫ -- ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- КРЕМНИЙ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ -- ТОЛСТОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги. сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии "Кремний на изоляторе" и формированию систем многоуровневой металлизации ИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)