Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=лазернохимические травления<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников [Текст] : сб. науч. тр. / отв. ред.: А. В. Ржанов, С. М. Репинский. - Новосибирск : Наука, 1988. - 238 с. ; 21см. - ISBN 5-02-028640-0 : 3.90 р.

ГРНТИ	29.19.31	31.15
УДК	537.311.322:541.183(082)

Рубрики: Физика--Полупроводники

Химия--Физическая химия

Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- физическая химия -- поверхности -- плазменные травления -- ионные травления -- лазернохимические травления -- металлы -- диэлектрики -- химия твердого тела -- кинетика -- катализ -- свойства поверхности -- химическая кинетика -- гетерогенные реакции -- ионно-плазменные травления -- кремний
Аннотация: Сборник содержит критический анализ экспериментальных данных о процессах плазменного, ион-и лазернохимического травления полупроводников, а также о процессах получения структур полупроводник-металл и полупроводник-диэлектрик.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Ржанов, А. В.
Репинский, С. М.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)