Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=ТВЕРДОТЕЛЫЕ СТРУКТУРЫ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Физико-химические основы надежности микроэлектронных структур [Текст] : межвуз. сб. науч. тр. / Воронежский политехн. ин-т. - Воронеж : ВПИ, 1987. - 91 с. : ил. ; 28 см. - Библиогр. в конце ст. - 0.70 р.

ГРНТИ	47.03
УДК	621.315.592.019.3+621.382.049.77.012.3

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ -- ТВЕРДОТЕЛЫЕ СТРУКТУРЫ -- ИМПЛАНТИРОВАННЫЕ СЛОИ
Аннотация: Представлены результаты анализа физико-химических процессов деградации полупроводниковых материалов, интегральных схем и элементов их конструкции. Рассмотрено влияние технологических факторов и внешних воздействий на физические свойства структур, изготовленных с использованием монокристаллического, поликристаллического и аморфного кремния.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)