Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=МАССПЕКТРОМЕТРИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Физико-технологические основы микроэлектроники [Текст] : сб. науч. тр. / Ташкентский политехн. ин-т. - Ташкент : Изд-во ТашПИ, 1985. - 96 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр. в конце ст. - 0.60 р.

ГРНТИ	47.03
УДК	621.38.049.77

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ЛЕГИРОВАНИЕ МАТЕРИАЛА -- МАССПЕКТРОМЕТРИЯ -- ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ
Аннотация: В сборнике приведены результаты исследований, направленные на повышение надежности электронных и полупроводниковых приборов и интегральных схем. Исследуются физические процессы на поверхности различных материалов (кремния, германия и т. д.), способы их легирования. Комплексное изучение структуры и свойств кристаллов и тонких пленок в работах авторов сборника проводилось методами вторичной ионной масспектрометрии, электронной оже-спектрометрии и электронной микроскопии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)