Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Плазменная технология в производстве СБИС [Текст] / под ред.: Н. Айнспрука, Д. Брауна ; пер. с англ. : Ю. М. Золотарева, В. В. Юдина. - М. : Мир, 1987. - 469 с. : ил. ; 22см. - Библиогр.: с. 461. - 3.40,38.00 р.
Пред.-имен. указ. с.: 463

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.771.14.002:621.7/9.048.7

ББК 31.233

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
диффузионный барьер -- силициды -- металлизация затвора -- травление -- параметры -- интегральные микросхемы -- СБИС -- осаждение -- литография -- ионно-плазменные методы -- флюоресценция -- излучение -- лазер -- масс-спектрометрия -- механизм травления -- оптическая литография
Аннотация: Рассмотрены вопросы физики,химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.Книга является своеобразной энциклопедией по физике и химии процессов осаждения,литографии и травления с применением ионно-плазменных методов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Айнспрук, Н.
Браун, Д.
Золотарев, Ю. М.
Юдин, В. В.
Найти похожие

Физическая электроника [Текст] : тем. сб. науч. тр. высш. учеб. заведений Литов. ССР / Каунасский политехн. ин-т ; отв. ред. М. Домкус. - Вильнюс : Ред.-издат. совет М-ва высш. и сред. спец. образования Литов. ССР, 1980. - 159 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр. в конце ст. - 1.00 р.

ГРНТИ	47.05
УДК	621.38

Рубрики: Электроника--Физическая электроника

Кл.слова (ненормированные):
ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ -- ПРОЗРАЧНЫЕ СЛОИ -- МНОГОКОМПОЗИЦИОННЫЕ МИШЕНИ -- БОМБАРДИРОВКА ПОВЕРХНОСТИ ГЕРМАНИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ТВЕРДЫЕ ТЕЛА
Аннотация: Рассмотрены основные фазы процессов вакуумного нанесения тонких пленок и покрытий в вакууме, способы и тенденции их образования; генерации молекулярного состояния вещества, переноса вещества от места генерации к поверхности конденсации и процесса взаимодействия молекулярного потока с поверхностью конденсации.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Домкус, М.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)