Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=ИОННОПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Иванов-Есипович, Н. К.
Технология микросхем [Текст] : учебник / Н. К. Иванов-Есипович. - М. : Высшая школа, 1972. - 256 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 253-254 (51 назв.). - 0.79 р.
Гриф: допущено М-вом высш. и сред. спец. образования СССР в качестве учеб. для студ. вузов, обучающихся по спец. "Конструирование и производство радиоаппаратуры"

ГРНТИ	47.33.01.33
УДК	621.382(075)

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
МИКРОСХЕМЫ -- ВАКУУМТЕРМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- НЕВАКУУМНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ИОННОПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ЭПИТАКСИЯ
Аннотация: В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермической технологии, технологии полупроводниковых микросхем.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)