Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=ВАКУУМНОЕ НАНЕСЕНИЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Данилин, Б. С.
Вакуумное нанесение тонких пленок [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин ; под ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1967. - 311 с. : граф., рис., табл. ; 21 см. - Библиогр.: с. 304-311. - 1.10 р.

ГРНТИ	29.19
УДК	539.2

Рубрики: Физика--Физика твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМНОЕ НАНЕСЕНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ИЗМЕРЕНИЕ ВАКУУМА -- ИСПАРИТЕЛИ -- ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
Аннотация: Рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемая при получении тонких пленок.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Нилендер, Р. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)