Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=ВАКУУМНОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Палатник, Л. С.
Материаловедение в микроэлектронике [Текст] : научное издание / Л. С. Палатник, В. К. Сорокин. - М. : Энергия, 1978. - 280 с. : ил. ; 21 см. - (Электронное материаловедение). - Библиогр.: с. 268-278. - 1.10 р.

ГРНТИ	47.09
УДК	621.382-18

Рубрики: Электроника--Материалы электронной техники

Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ВАКУУМНОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ -- ДИФФУЗИИ -- ЭЛЕКТРОДИФФУЗИИ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ
Аннотация: В книге освещены вопросы материаловедения в области микроэлектроники . Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Сорокин, В. К.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)