Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=телевизионные методы<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Быстров, Ю. А.
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве [Текст] / Ю.А.Быстров,Е.А.Колгин,Б.Н.Котлецов. - М. : Радио и связь, 1988. - 168 с. : ил. ; 22см. - ISBN 5-256-00006-3 : 0.65 р.

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.382.049.77.002:652

ББК 32.844

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- фотоэлектрические методы -- телевизионные методы -- рентгенотелевизионные методы -- дифракционные методы -- контроль фаски
Аннотация: Рассматриваются различные методы и средства измерения линейных размеров,толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем с позиций их применимости для неразрушающего и оперативного контроля в процессе производства.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Колгин, Е. А.
Котлецов, Б. Н.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)