Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=ионная литография<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Попов, В. Ф.
Процессы и установки электронно-ионной технологии [Текст] : учеб. пособие для вузов / В. Ф. Попов. - М. : Высшая школа, 1988. - 255 с. : ил. ; 21см. - ISBN 5-06-001480-0 : 1.00 р.

ГРНТИ	47.13.01.33
УДК	621.38:621.359(075.8)

ББК 32.85

Рубрики: Электроника--Электронная технология

Кл.слова (ненормированные):
электротехника -- электроника -- электронная технология -- применение электрокапиллярности -- ионная литография -- термические процессы -- легирование материала
Аннотация: Книга состоит из трех разделов, посвященных электронной технологии, ионной технологии, применению молекулярных потоков. По каждому методу даются сведения о его физических основах, особенностях технологических процессов, приводятся описания типичного оборудования.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Попов, В. К.
Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии [Текст] : научное издание / В. К. Попов, С. Н. Ячменев. - М. : Радио и связь, 1985. - 128 с. : ил. ; 21см. - 0.45 р.

ГРНТИ	47.33.33
УДК	621.383.8

ББК 32.85

Рубрики: Электроника--Оптоэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- электронная литография -- оптоэлектроника -- ионная литография -- генераторы изображения -- проекционные устройства
Аннотация: Изложены сведения о принципах работы и конструктивных особенностях устройств зондового и проекционного оборудования электронной и ионной литографии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Ячменев, С. Н.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)