Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Берри, Р.
Тонкопленочная технология [Текст] : научное издание / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; пер. с англ.: В. И. Генкина, Е. И. Гиваргизова. - М. : Энергия, 1972. - 336 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 329-335. - 1.50 р.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.382

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПОДЛОЖКИ -- ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК -- ПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ -- ПРОВОДЯЩИЕ ПЛЕНКИ -- ПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ
Аннотация: В книге описан ряд важнейших технологических процессов, в том числе получение тонких пленок катодным распылением, подготовка подложек для микроэлектронных схем, создание микроэлектронных рельефов, присоединение выводов, конструирование и методы промышленного производства тонкопленочных схем и применяемое для этих целей оборудование.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Холл, П.
Гаррис, М.
Генкин, В. И.
Гиваргизов, Е. И.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)