Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Технология СБИС [Текст] : в 2 кн. / под ред. С. Зи ; пер. с англ. Ю. Д. Чистякова. - М. : Мир, 1986.Кн. 1. - 1986. - 404 с. : ил. ; 23см. - Библиогр.: с. 400-402. - 3.00 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77.002

ББК 31.233

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- интегральные микросхемы -- СБИС -- кремниевые ИС -- монокристаллы кремния -- эпитаксиальные слои -- осаждение пленок -- термическое окисление -- окисление -- диффузия -- ионная имплантация -- геттерирование -- литография
Аннотация: Освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС. В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Зи, С. \\ред.\\
Чистяков, Ю. Д. \\пер.\\
Найти похожие

Хорин, И. А.
Технологии электронной компонентной базы [Текст] : учеб. пособие / И. А. Хорин. - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 280 с. : ил. ; 22 см. - (Университетский учебник). - Библиогр.: с. 275-276 (27 назв.). - ISBN 978-5-4486-0210-8 : 50.00 р.

ГРНТИ	47.33.01.33
УДК	621.382.049.77(075.8)

ББК 32.844

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКИЕ ОТЖИГИ -- МИКРОСХЕМЫ -- НАНОСТРУКТУРЫ -- ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- КРЕМНИЙ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ -- ТОЛСТОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги. сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии "Кремний на изоляторе" и формированию систем многоуровневой металлизации ИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)