Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=МИКРОПРИБОРЫ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Перинская, И. В.
Мир материалов и технологий: ионно-лучевое конструирование материалов СВЧ микроэлектроники [Текст] : монография / И. В. Перинская, И. В. Родионов, В. В. Перинский ; Саратовский гос. техн. ун-т им. Гагарина Ю. А. - Саратов : ИЦ "Наука", 2016. - 244 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 214-217(35 назв.). - ISBN 978-5-9999-2709-5 : 80.00 р.

ГРНТИ	81.09	47.09
УДК	620.22+621.382.0023

ББК 30.3 + 32.85

Рубрики: Материаловедение

Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ИОННО-ЛУЧЕВОЕ КОНСТРУИРОВАНИЕ -- МИКРОПРИБОРЫ -- СВЧ УСТРОЙСТВА -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- КЛАСТЕРИЗАЦИЯ -- ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ЗАЩИТА
Аннотация: Предлагается подход к решению проблемы технологии изготовления монолитно-интегральных схем СВЧ на арсениде галлия - отсутствию метода изготовления ИС СВЧ в одном технологическом цикле на основе единого физико-технического эффекта. Ионная инплантация в качестве базового метода позволяет осуществлять легирование, изоляцию, очистку поверхности, литографию, пассивацию в одной технологической установке в вакууме, необходимые операции изготовления активных и пассивных элементов ИС СВЧ. Монография посвящена разработке физических основ ионно-лучевой технологии микроприборов сверхвысоких частот на арсениде галлия, особенностям применения ускоренных ионов водорода, галлия при создании субмикронных изолирующих областей в монокристаллическом арсениде галлия и эпитаксиальных структурах, имплантации ионов гелия, аргона в металлические слои ИС СВЧ; проблеме качества полупроводниковых структур арсенида галлия; роли процессов кластеризации в технологии легирования и изоляции. Предложены ионно-модифицированные варианты безрезистной литографии изготовления СВЧ полевых транзисторов, металлических резисторов и межслойных конденсаторов, датчиков; способы ионно-лучевой защиты поверхности микроэлектронных изделий от внешних и химических воздействий, ионно-модифицированные аналоги драгоценных металлов для монолитных СВЧ устройств.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Родионов, И. В.
Перинский, В. В.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)