Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов [Текст] : сборник науч. трудов / Тульский гос. техн. ун-т ; отв. ред. В. В. Любимов. - Тула : ТулГу, 1995. - 122 с. : ил. ; 20см. - ISBN 5-230-26064-5 : 10.00 р.

ГРНТИ	55.20
УДК	621.7/9(06)

Рубрики: Обработка материалов--Электрические методы обработки

Кл.слова (ненормированные):
обработка материалов -- электрохимическая обработка -- электрофизическая обработка -- ионно-плазменная обработка -- вакуумная технология -- поверхностные покрытия -- алмазоподобные углеродные пленки -- инструментальные покрытия
Аннотация: Приводятся результаты исследований электрохимической, электрофизической и совмещенной обработки материалов. Рассматриваются вопросы ионно-плазменных вакуумных технологий нанесения поверхностных покрытий с заданным физико-механическими и химическими свойствами, исследуется возможность применения алмазоподобных углеродных пленок в качестве инструментальных покрытий, предлагаются способы формирования многослойных ионно-плазменных покрытий. Для научных работников, студентов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Любимов, В. В.
Найти похожие

Ивановский, Г. Ф.
Ионно-плазменная обработка материалов [Текст] / Г. Ф. Ивановский, В. И. Петров. - Москва : Радио и связь, 1986. - 232 с. : ил. - 1.20 р.

ББК 30.61

Рубрики: Техника--Обработка материалов

Кл.слова (ненормированные):
ионно-плазменная обработка -- обработка материалов -- плазма
Аннотация: Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о процессах ионно-плазменной обработки.
Держатели документа:
Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова)

Доп. точки доступа:
Петров, В. И.
Найти похожие

Технология СБИС [Текст] : в 2 кн. / под ред. С. Зи [и др.] ; пер. с англ. В. Н. Лейкина. - М. : Мир, 1986.
Кн. 2. - 1986. - 453 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 437-438. - 2.30 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77.002

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- БИПОЛЯРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация: В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС, методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Зи, С. \\ред.\\
Лейкин, В. Н. \\пер.\\
Чистяков, Ю. Д. \\ред.\\
Петров, В. Б. \\ред.\\
Эйдельман, Б. Л. \\ред.\\
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)