Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Технология тонких пленок [Текст] : справочник / Л. Майссел [и др.]. - М. : Советское радио, 1977 - .
Т. 1. - 1977. - 664 с. : ил. ; 21см. - 4.02 р., 25.00 р.

ГРНТИ	29.19.01.33
УДК	539.216(083)

ББК 6Ф0.3

Рубрики: Физика--Физика твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- изготовление тонких плёнок -- вакуумное испарение -- техника высокого вакуума -- ионная бомбардировка -- распыление -- распыление материалов -- ионное распыление
Аннотация: Справочник по технологии тонких плёнок - наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким плёнкам твёрдых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издаётся в двух томах. В т.1 включены гл.1-7, в т.2-гл.8-21. В т.1 справочника читатель найдёт исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких плёнок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения плёнок путём ионного распыления); технологические разъёмы, а также параметры необходимой аппаратуры. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких плёнок.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Майссел, Л.
Глэнг, Р.
Елинсон, М. И.
Смолко, Г. Г.
Найти похожие

Акишин, А И.
Ионная бомбардировка в вакууме [Текст] : научное издание / А И. Акишин. - М. ; Л. : Госэнергоиздат, 1963. - 142 с. : ил., табл. ; 20 см. - Библиогр.: с. 130-142 (263 назв.). - 0.41 р.

ГРНТИ	29.05
УДК	537.5

Рубрики: Физика--Электронные явления

Кл.слова (ненормированные):
ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ЭЛЕКТРОННЫЕ УМНОЖИТЕЛИ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ИОННЫЕ ПУЧКИ -- ХОЛОДНЫЕ КАТОДЫ -- КОРПУСКУЛЯРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
Аннотация: В книге кратко описаны вторичные процессы, возникающие при ионной бомбардировке поверхности твердого тела. Рассматривается полезная и вредная роль ионной бомбардировки в электровакуумных приборах, экспериментальной физике и при космических полетах.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)