Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: <.>A=Ржанов, $<.>

Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников [Текст] : сб. науч. тр. / отв. ред.: А. В. Ржанов, С. М. Репинский. - Новосибирск : Наука, 1988. - 238 с. ; 21см. - ISBN 5-02-028640-0 : 3.90 р.

ГРНТИ	29.19.31	31.15
УДК	537.311.322:541.183(082)

Рубрики: Физика--Полупроводники

Химия--Физическая химия

Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- физическая химия -- поверхности -- плазменные травления -- ионные травления -- лазернохимические травления -- металлы -- диэлектрики -- химия твердого тела -- кинетика -- катализ -- свойства поверхности -- химическая кинетика -- гетерогенные реакции -- ионно-плазменные травления -- кремний
Аннотация: Сборник содержит критический анализ экспериментальных данных о процессах плазменного, ион-и лазернохимического травления полупроводников, а также о процессах получения структур полупроводник-металл и полупроводник-диэлектрик.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Ржанов, А. В.
Репинский, С. М.
Найти похожие

Таруи, Я.
Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Текст] / Я. Таруи ; пер. с япон. В. А. Лазарева ; под ред. В. Г. Ржанова. - М. : Радио и связь, 1985. - 480 с. : ил. ; 22см. - 2.70 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
сверхминиатюризация -- интегральные схемы -- полупроводниковые интегральные схемы -- электронно-лучевая литография -- электроны -- электроннооптические системы -- методы совмещения -- эффект близости -- искажения изображения -- компенсация изгибов пластины -- сканирование излучения -- перенос рисунков -- контроль шаблонов -- дефекты шаблонов -- электронорезисторы -- СБИС -- геттерирование -- сухое травление -- плазменное травление -- технология лазерного отжига
Аннотация: Рассмотрены методы электронно-лучевой,фото-и рентгеновской литографии,применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем.Дана классификация различных типов дефектов,методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов.Обсуждаются принципы работы технологического и контрольно-измерительного оборудования,а также способы повышения качества шаблонов и структур СБИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Лазарев, В. А.
Ржанов, В. Г.
Найти похожие

Поверхностные свойства полупроводников [Текст] : сборник / отв. ред.: А. Н. Фрумкин, А. В. Ржанов, Р. Х. Бурштейн. - М. : Изд-во Акад. наук СССР, 1962. - 232 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр. в конце ст. - 1.08 р.

ГРНТИ	45.09
УДК	621.315

Рубрики: Электротехника--Электротехнические материалы

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА -- КИНЕТИКА -- ГЕРМАНИЙ -- КРЕМНИЙ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПЛЕНКА -- ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Фрумкин, А. Н.
Ржанов, А. В.
Бурштейн, Р. Х.
Найти похожие

Александров, Л. Н.
Кинетика образования и структуры твердых слоев [Текст] : научное издание / Л. Н. Александров ; отв. ред. А. В. Ржанов ; Ин-т физики полупроводников (Новосибирск). - Новосибирск : Наука, 1972. - 227 с. : ил., рис. ; 21 см. - Библиогр.: с. 212-225 (414 назв.). - 1.34 р.

ГРНТИ	29.19
УДК	537.311.322

Рубрики: Физика--Физика твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
РАСЧЕТ КИНЕТИКИ -- КИНЕТИКА ПРЕВРАЩЕНИЙ -- ЖИДКОСТНАЯ ЭПИТАКСИЯ -- СТРУКТУРНАЯ РЕЛАКСАЦИЯ -- МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СЛОИ -- ПРОЦЕССЫ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ -- МЕХАНИЧЕСКАЯ РЕЛАКСАЦИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ВНУТРЕННЕЕ ТРЕНИЕ
Аннотация: В книге рассмотрены общие закономерности и методы расчета кинетики образования твердых слоев на ориентирующих и неориентирующих подложках и структурные изменения при изотермических и неизотермических превращениях в одно- и двухкомпонентных твердых системах.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Ржанов, А. В.
Найти похожие

Некоторые проблемы физики и химии поверхности полупроводников [Текст] : научное издание / Ин-т физики полупроводников (Новосибирск) ; под ред. А. В. Ржанова. - Новосибирск : Изд-во "Наука", 1972. - 250 с. : ил., табл. ; 22 см. - Библиогр. в конце разд. - 1.56 р.

ГРНТИ	29.19.31
УДК	537.311.322

Рубрики: Физика--Полупроводники

Кл.слова (ненормированные):
ЗАКОНОМЕРНОСТИ РАСТВОРЕНИЯ -- КИНЕТИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ -- ТВЕРДЫЕ ТЕЛА -- АКТИВНЫЕ ГАЗЫ -- ГЕТЕРОГЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ
Аннотация: Книга содержит обзорные статьи по актуальным проблемам физики и химии поверхности полупроводников, в которых описываются закономерности процессов взаимодействия полупроводников с растворами и газами, электронно-ионные процессы на поверхности полупроводников, а также основы теории и применения оптического поляризационного метода для изучения свойств поверхности полупроводников.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Ржанов, А. В.
Найти похожие

Ржанов, А. В.
Электронные процессы на поверхности полупроводников [Текст] : монография / А. В. Ржанов. - М. : Изд-во "Наука", 1971. - 480 с. : ил. ; 21 см. - (Физика полупроводников и полупроводниковых приборов). - Библиогр.: с. 467-476 (272 назв.). - 1.81 р.

ГРНТИ	29.05
УДК	537.311.33

Рубрики: Физика--Электронные явления

Кл.слова (ненормированные):
ФЕНОМЕНОЛОГИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРОЦЕССЫ -- НОСИТЕЛИ ЗАРЯДА -- ПОВЕРХНОСТНОЕ РАССЕЯНИЕ -- АТОМАРНО-ЧИСТАЯ ПОВЕРХНОСТЬ
Аннотация: Монография посвящена полупроводникам. В ней дано систематическое и последовательное изложение представлений об электронном строении поверхности полупроводников, характере и специфике поверхностных электронных процессов в полупроводниках, методах и основных результатах их экспериментальных исследований.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)