Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

В текущей базе данных найдено документов :3

В других БД по вашему запросу найдено:

Электронный каталог (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: <.>A=Кожитов, $<.>

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

"Оборудование, технологии и аналитические системы для материаловедения, микро- наноэлектроники", рос.-япон. семинар (5 ; 2007 ; Саратов).
Материалы V Российско-Японского семинара "Оборудование, технологии и аналитические системы для материаловедения, микро- и наноэлектроники ". МИСиС - Interactive Corp. - СГУ, 18-19 июня 2007 года [Текст] / "Оборудование, технологии и аналитические системы для материаловедения, микро- наноэлектроники", рос.-япон. семинар (5 ; 2007 ; Саратов) ; Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т стали и сплавов (Технол. ун-т), Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского ; под ред. Л. В. Кожитова. - Москва : Изд-во МИСиС, 2007 - .
Т. 1. - Москва : Изд-во МИСиС, 2007. - [22], 665, [1] с. : рис., табл. - Библиогр. в конце ст. - Авт. указ.: с. 661-665. - ISBN 978-5-902063-29-2 : 90.00 р.
На обл.: Труды V российско-японского семинара

УДК

620.3(470+520)(063)

Рубрики: техника--материаловедение--Россия--Япония, 21 в.

Кл.слова (ненормированные):
наноматериалы -- нанотехнологии -- материаловедение -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- математическое моделирование -- инновации
Держатели документа:
Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского

Доп. точки доступа:
Кожитов, Л. В. \\ред.\\
Найти похожие

Блинов, И. Г.
Оборудование полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - М. : Машиностроение, 1986. - 264 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 256-258. - 1.00 р.
Гриф: допущено М-вом высш. и сред. спец. образования СССР в качестве учеб. пособия для студ. приборостроит. спец. вузов. Предм. указ.: с. 259-263

ГРНТИ	47.33.01.33
УДК	621.382.002.5(075.8)

ББК 30.605

Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- индукционный нагрев -- лучистый нагрев -- вакуумные системы -- газовые системы -- диффузия -- окисление -- фотолитография -- эпитаксия -- газовая эпитаксия
Аннотация: В учебном пособии изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами, и даны практические рекомендации по их реализации.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Кожитов, Л. В.
Найти похожие

Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия [Текст] : научное издание / И. М. Скворцов [и др.]. - М. : Энергия, 1978. - 136 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 129-131. - 0.50 р.

ГРНТИ	45.09.31
УДК	621.315.592.002+621.382.002

Рубрики: Электротехника--Полупроводники

Кл.слова (ненормированные):
ГАЗОРАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ГАЗОВОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- АВТОЛЕГИРОВАНИЕ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ
Аннотация: Рассмотрены вопросы эпитаксиальной технологии, требования к эпитаксиальным слоям кремния и германия, технологические приемы и аппаратура, обеспечивающие выполнение этих требований и получение эпитаксиальных слоев с заданными свойствами.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Скворцов, И. М.
Лапидус, И. И.
Орион, Б. В.
Кожитов, Л. В.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)