Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.315.592.002+621.382.002<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.315/Т 38
Автор(ы) : Скворцов И. М., Лапидус И. И., Орион Б. В. , Кожитов Л. В.
Заглавие : Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия : научное издание
Выходные данные : М.: Энергия, 1978
Колич.характеристики :136 с.: ил.; 20 см
Примечания : Библиогр.: с. 129-131
Цена : 0.50 р.
ГРНТИ : 45.09.31
УДК : 621.315.592.002+621.382.002
Предметные рубрики: Электротехника-- Полупроводники
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): газораспределительные системы--эпитаксия кремния --газовое травление--легирование--автолегирование--эпитаксиальные слои
Аннотация: Рассмотрены вопросы эпитаксиальной технологии, требования к эпитаксиальным слоям кремния и германия, технологические приемы и аппаратура, обеспечивающие выполнение этих требований и получение эпитаксиальных слоев с заданными свойствами.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)