Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

В текущей базе данных найдено документов :1

В других БД по вашему запросу найдено:

ЭБС "ЛАНЬ" (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=эмульсия<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.382(075)/М 74
Автор(ы) : Мокеев О. К.
Заглавие : Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем : учебник . -2-е изд., перераб. и доп
Выходные данные : М.: Высшая школа, 1985
Колич.характеристики :312 с.: ил.; 20см
ISBN, Цена 4: 0.60 р.
ГРНТИ : 47.03.05.01.33 + 47.33.37.01.33
УДК : 621.382.002+621.382.049.77(075.3)
ББК : 32.852
Предметные рубрики: Электроника-- Полупроводниковые приборы-- Микроминиатюрные полупроводниковые приборы
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фильтры--фильтрация--эмульсия--адсорбция газов--фотолитография--ионное травление--фотошаблоны
Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитогрфии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства их контроля, оборудование. Во втором издании (1-е - в 1979 г.) описаны сухое травление рабочих материалов, а также методы электронно- и рентгенолитографии.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)