| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Область поиска
в найденном
В текущей базе данных найдено документов :37
 В других БД по вашему запросу найдено:Электронный каталог (3)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>KL=фотолитография<.>)
Общее количество найденных документов : 37
Показаны документы с 1 по 20
 1-20    21-37 
1.

    Курносов, Анатолий Иванович.
    Технология производства полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для вузов, обучающихся по специальности "Полупроводники и диэлектрики" / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - Москва : Высш. шк., 1974. - 400 с. : ил. - Библиогр. - ISBN [Б. и.] (в пер.) : 15.00 р.
УДК

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- полупроводниковые материалы -- фотолитография -- сплавление -- диффузия -- эпитаксия -- элионика -- конденсация в вакууме -- поверхность п-п переходов -- интегральные схемы
Держатели документа:
Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского


Доп. точки доступа:
Юдин, В. В.
Найти похожие

2.

   
    Знакосинтезирующая электроника: Фотолитография [Текст] : учеб. пособие для студентов хим. и приборостроит. специальностей вузов / В. П. Севостьянов В. П., Б. К. Решетников, И. Г. Мраморнов И. Г., М. Л. Каширский М. Л. - Саратов : Издательство Саратовского университета, 1993. - 137, [3] с. - ISBN 5-292-01688-8 : 15.00 р.
УДК

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
знакосинтезирующая электроника -- фотолитография -- фоторезисторы -- индикаторы -- жидкокристаллические индикаторы
Аннотация: В учебном пособии рассматриваются технологические методы, применяемые для изготовления электронной индикаторной техники. Особое место занимает фотолитография.
Держатели документа:
Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Севостьянов, В. П.
Решетников, Борис Константинович
Мраморнов, И. Г.
Каширский, М. Л.

Найти похожие

3.

    Кирееев, Валерий Юрьевич.
    Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование [Текст] : учебно-справочное руководство / В. Ю. Кирееев. - Долгопрудный : Издательский дом "Интеллект", 2016. - 319, [1] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 314-319 (111 назв.). - ISBN 978-5-91559-215-4 (в пер.) : 1331.00 р.
УДК

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- нанотехнологии -- нанолитография -- интегральные микросхемы -- фотолитография -- наноимпринтная литография -- электронная литография
Держатели документа:
Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского
Найти похожие

4.

    Ефимов, И. Е.
    Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность [Текст] : учеб. пособие для вузов / И. Е. Ефимов, Ю. И. Горбунов, И. Я. Козырь. - М. : Высшая школа, 1977. - 416 с. : ил. ; 22см. - 1.30 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
эффект Ганна -- фотолитография -- локальная диффузия -- ионное легирование -- металлизация -- изготовление ИМС -- контроль качества -- надежность -- испытание ИМС -- полупроводниковые диоды -- полевые транзисторы -- тиристоры
Аннотация: В книге изложены физические и технологические основы полупроводниковой и пленочной микроэлектроники, основы работы активных элементов в ИМС; рассмотрены конструктивно-технологические особенности, материалы и элементы конструкции ИМС, их структурные элементы, процессы изготовления ИМС, контроль качества ИМС при изготовлении, испытания микросхем.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Горбунов, Ю. И.
Козырь, И. Я.
Найти похожие

5.

    Мокеев, О. К.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебник / О. К. Мокеев. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1985. - 312 с. : ил. ; 20см. - ISBN 4 : 0.60 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.852

Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы--Микроминиатюрные полупроводниковые приборы

Кл.слова (ненормированные):
фильтры -- фильтрация -- эмульсия -- адсорбция газов -- фотолитография -- ионное травление -- фотошаблоны
Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитогрфии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства их контроля, оборудование. Во втором издании (1-е - в 1979 г.) описаны сухое травление рабочих материалов, а также методы электронно- и рентгенолитографии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

6.

    Тейлор, П.
    Расчет и проектирование тиристоров [Текст] : пер. с англ. / П. Тейлор ; под ред. Ю. А. Евсеева. - М. : Энергоатомиздат, 1990. - 208 с. : ил. ; 21см. - ISBN 5-283-02495-4 : 0.90 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 31.264.5

Рубрики: Электротехника--Преобразовательная техника

Кл.слова (ненормированные):
тиристоры -- электротехника -- преобразователи -- типы тиристоров -- проектирование тиристоров -- характеристики тиристоров -- механизмы повреждения -- производство тиристоров -- эпитаксия -- дискретные приборы -- силовые приборы -- полупроводниковые приборы -- запираемые тиристоры -- гибриды полевого транзистора -- МОП-транзисторы -- оксидирование -- фотолитография -- охлаждения тиристоров
Аннотация: Обобщены результаты научных и технологических исследований в области дискретных силовых полупроводниковых приборов. Рассмотрена работа новых типов приборов: запираемых тиристоров, гибридов полевого транзистора с тиристором, МОП-транзисторов с встроенной областью пространственного заряда.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Евсеев, Ю. А.
Найти похожие

7.

   
    Фильтры на поверхностных акустических волнах (расчет, технология и применение) [Текст] : пер. с англ. / под ред. Г. Мэттьюза. - М. : Радио и связь, 1981. - 472 с. : ил. ; 21см. - 2.50 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.844

Рубрики: Радиотехника--Акустические волны

Кл.слова (ненормированные):
акустические волны -- фильтры -- поверхностные волны -- поверхностные акустические волны -- ПАВ -- полосовые фильтры -- расчет фильтров -- свойства фильтров -- согласованная фильтрация -- упругие волны -- дифракция -- затухание -- встречно-штыревые преобразователи -- синтез фильтров -- фотолитография -- травление -- электронная литография -- рентгенолитография -- согласующие цепи -- фазовые коды
Аннотация: Рассматриваются принцип работы, методы расчета, примеры конструкции фильтров на поверхностных акустических волнах(ПАВ). Приведены основные свойства и методы расчета фильтров для согласованной фильтрации.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Мэттьюз, Г.
Найти похожие

8.

    Валиев, К. А.
    Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 352 с. : ил. ; 21см. - 2.80 р.
Библиогр.224 назв.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ионно-лучевая литография -- электроника -- микроэлектроника -- субмикронная литография -- фотолитография -- субмикронная фотолитография -- литография -- электронные пучки -- ионные пучки -- рентгеновское излучение -- ультрамягкое излучение -- ионно-лучевая литография
Аннотация: Излагается физика формирования электронных и ионных пучков малых и средних энергий, а также пучков ультрамягкого рентгеновского излучения. Рассматриваются физические явления, возникающие при взаимодействии пучков указанных типов с веществом.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Раков, А. В.
Найти похожие

9.

    Маллер, Р.
    Элементы интегральных схем [Текст] / Р. Маллер, Т. Кейминс ; пер. с англ.: Е. З. Мазеля, Л. С. Ходоша. - М. : Мир, 1989. - 630 с. : ил. ; 22см. - ISBN 5-03-001100-5 : 3.20, 92.00 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.85

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы

Кл.слова (ненормированные):
электроника -- интегральные микросхемы -- полупроводники -- полупроводниковые материалы -- дырки -- доноры -- акцепторы -- дрейфовая скорость -- подвижность -- рассеяние -- диффузионный ток -- магнитный датчик -- эффект Холла -- кремниевые приборы -- выращивание монокристаллов -- термическое окисление -- фотолитография -- перенос рисунков -- диффузия -- ионное легирование
Аннотация: Изложены основы физики и технологии изготовления элементов кремниевых ИС, принципы их действия, вопросы расчета и конструирования, а также математические модели, используемые для проектирования как самих элементов, так и цифровых и аналоговых ИС на их основе. Большое внимание уделяется математическим моделям элементов ИС, предназначенным для ИС элементов: биполярные транзисторы с оксидной изоляцией, КМОП-структуры и т. д.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Кейминс, Т.
Мазель, Е. З.
Ходош, Л. С.
Найти похожие

10.

   
    Оборудование полупроводникового производства [Текст] / П. Н. Масленников, К. А. Лаврентьев, А. Д. Гингис. - М. : Радио и связь, 1981. - 336 с. : ил. ; 22см. - 1.50 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.85

Рубрики: Электроника--Производство полупроводников

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые пластины -- полупроводниковые приборы -- фотолитография -- кристаллы -- холодная сварка -- электроконтактная сварка -- испытательное оборудование -- интегральные микросхемы -- пылезащитные камеры -- точечные диоды
Аннотация: Описаны конструкции и приведены основные характеристики наиболее широко применяемого оборудования полупроводникового производства, сформулированы требования, предъявляемые к оборудованию, а по основным видам оборудования-практические рекомендации по оперативной проверке исправности его. Изложены основные принципы комплексной механизации и автоматизации в современном полупроводниковом производстве.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Масленников, П. Н.
Лаврентьев, К. А.
Гингис, А. Д.
Найти похожие

11.

    Парфенов, О. Д.
    Технология микросхем [Текст] : учеб. пособие для вузов / О. Д. Парфенов. - М. : Высшая школа, 1977. - 256 с. : ил. ; 20 см. - 0.66 р.
Гриф: допущено М-вом высш. и сред. спец. образования СССР в качестве учеб. пособия для студ. вузов по спец. "Электронные вычислит. машины" и "Конструирование и пр-во электронно-вычислит. аппаратуры"
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- диффузия -- эпитаксия -- пассивация -- металлизация -- фотолитография -- пленочные микросхемы -- сборка микросхем -- герметизация микросхем
Аннотация: Рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем(диффузия, эпитаксия, пассивация, межсоединения, фотолитография); технология гибридных пленочных микросхем; сборка микросхем(монтажно-сборочные операции, крепление подложек и кристаллов, герметизация). Для студентов вузов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

12.

    Березин, А. С.
    Технология и конструирование интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для вузов / А. С. Березин, О. Р. Мочалкина ; под ред. И. П. Степаненко. - М. : Радио и связь, 1983. - 232 с. : ил. ; 20см. - 0.80 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.852

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- полупроводниковые ИС -- пленочные ИС -- планарная технология -- легирование -- фотолитография -- сверхбольшие интегральные схемы -- транзисторы
Аннотация: Рассмотрены основные вопросы технологии и конструирования интегральных микросхем. Дается описание процессов планарной технологии полупроводниковых ИС, технологических процессов производства пленочных ИС, методов проектирования элементной базы и конструирования ИС в целом, конструктивно-технологические особенности БИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова)


Доп. точки доступа:
Мочалкина, О. Р.
Степаненко, И. П.
Найти похожие

13.

    Мокеев, О. К.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. пособие / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - М. : Высшая школа, 1979. - 272 с. : ил. ; 20 см. - (Профтехобразование. Радиоэлектроника). - 0.60 р.
Гриф: одобрено Учен. советом Госкомитета СССР по проф.-техн. образованию в качестве учеб. пособия для ТУ
ГРНТИ
УДК
ББК 32.852

Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы

Кл.слова (ненормированные):
химические материалы -- органические растворители -- отмывка полупроводников -- полупроводники -- травление -- фотолитография
Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Романов, А. С.
Найти похожие

14.

    Булкин, А. Д.
    Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для вузов / А. Д. Булкин, Н. И. Якивчик. - М. : Энергоатомиздат, 1984. - 256 с. : ил. ; 20см. - 0.65 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.852

Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы

Кл.слова (ненормированные):
силовые полупроводниковые приборы -- химическая обработка -- механическая обработка полупроводников -- термическая обработка -- фотолитографическая обработка -- полупроводниковые материалы -- герметизация -- техника безопасности -- фотолитография
Аннотация: Изложена технология производства силовых полупроводниковых приборов. Описаны технологические операции и оборудование процессов механической, химической, термической, фотолитографической обработки полупроводниковых материалов, сборки узлов и герметизации приборов. Рассмотрены требования техники безопасности, полупроводниковой гигиены и межоперационный контроль. Для студентов вузов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Якивчик, Н. И.
Найти похожие

15.

    Черняев, В. Н.
    Технология производства интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для вузов / В. Н. Черняев; под ред. А. А. Васенкова. - М. : Энергия, 1977. - 376 с. : ил. ; 20см. - 1.01 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- термовакуумное испарение -- катодное распыление -- диффузия -- эпитаксия -- фотолитография -- пленочные микросхемы -- полупроводники -- радиоэлектронная аппаратура
Аннотация: Рассматриваются физико-химические основы типовых процессов производства интегральных микросхем: термовакуумного испарения, катодного распыления, химических и электрохимических методов получения слоев, диффузии, эпитаксии, ионного внедрения и фотолитографии. Описываются технологии изготовления интегральных гибридных пленочных и интегральных полупроводниковых микросхем. Для студентов вузов, инженеров, специалистов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Васенков, А.А.
Найти похожие

16.

    Черняев, В. Н.
    Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров [Текст] : учеб. пособие для вузов / В.Н.Черняев. - 2-е изд.,перераб.и доп. - М. : Радио и связь, 1987. - 464 с. : ил. ; 20см. - 1.40 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- микропроцессоры -- микроэлектронные устройства -- интегральные полупроводниковые микросхемы -- гибридные микросхемы -- фотолитография -- герметизация ИМС
Аннотация: Рассмотрены физико-технологические основы процессов изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств.Описаны перспективные технологические методы производства интегральных полупроводниковых и гибридных микросхем и микропроцессоров.Для студентов вузов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

17.

    Курносов, А. И.
    Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учеб.пособие для сред.проф.-техн.училищ / А.И.Курносов. - 2-е изд.,перераб.и доп. - М. : Высшая школа, 1980. - 327 с. : ил. ; 20см. - 0.80 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.852

Рубрики: Электроника--Полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
материалы -- полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- полупроводниковые материалы -- германий -- кремний -- арсенид галлия -- механическая обработка полупроводников -- химическая обработка полупроводников -- фотолитография -- сборка -- герметизация
Аннотация: Рассмотрены электрофизические свойства материалов,используемых при производстве полуповодниковых приборов и интегральных микросхем.Описаны полупроводниковые материалы:германий,кремний,арсенид галлия и др.Приведены сведения по материалам,применяемым для механической и химической обработки полупроводников ,а также в процессах фотолитографии,сборки и герметизации.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

18.

    Игнатов, В. А.
    Торцевые асинхронные электродвигатели интегрального изготовления [Текст] / В. А. Игнатов, К. Я. Вильданов. - М. : Энергоатомиздат, 1988. - 304 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 298-302. - ISBN 5-283-00496-1 : 1.30 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 31.261.63

Рубрики: Электротехника--Электродвигатели

Кл.слова (ненормированные):
электродвигатели -- асинхронные электродвигатели -- магнитные поля -- фотолитография -- штамповка -- прессование -- напыление
Аннотация: Рассматриваются электродвигатели, основные элементы которых выполняются методами интегральной технологии: фотолитографией, штамповкой, прессованием, напылением.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Вильданов, К. Я.
Найти похожие

19.

    Соклоф, С.
    Аналоговые интегральные схемы [Текст] : научное издание / С. Соклоф ; пер. с англ. А. Б. Перевезенцева ; под ред. В. Д. Вернера. - М. : Мир, 1988. - 583 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 558-561. - ISBN 5-03-001149-8 : 2.80 р.
Прил.: с. 562-578
ГРНТИ
УДК
ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- диффузия -- окисление -- фотолитография -- конденсаторы -- источники постоянного тока -- источники напряжения -- дифференциальные усилители -- компараторы напряжения
Аннотация: В книге рассмотрены физические, технологические и схемотехнические принципы проектирования и производства аналоговых ИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Перевезенцев, А. Б.
Вернер, В. Д.
Найти похожие

20.

   Моро, У.

    Микролитография. Принципы, методы. материалы [Текст] : в 2ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990 - .
   Ч. 1. - 1990. - 605 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 595-602 (266 назв.). - ISBN 5-03-001716-X : 60.00 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.85

Рубрики: Электроника--МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЛИТОГРАФИЯ -- полупроводниковая технология -- ФОТОРЕЗИСТЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Аннотация: Рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

 1-20    21-37 
 
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)