| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>KL=отмывка полупроводников<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.382(075)/М 74
Автор(ы) : Мокеев О. К., Романов А. С.
Заглавие : Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем : учеб. пособие
Выходные данные : М.: Высшая школа, 1979
Колич.характеристики :272 с.: ил.; 20 см
Серия: Профтехобразование. Радиоэлектроника
Примечания : Гриф: одобрено Учен. советом Госкомитета СССР по проф.-техн. образованию в качестве учеб. пособия для ТУ
Цена : 0.60 р.
ГРНТИ : 47.33.01.33
УДК : 621.382.002+621.382.181.48(075)
ББК : 32.852
Предметные рубрики: Электроника-- Полупроводниковые приборы
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химические материалы--органические растворители--отмывка полупроводников--полупроводники--травление--фотолитография
Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.
Найти похожие

 
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)