Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=лазерное геттерирование<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.382/П 32
Автор(ы) : Пилипенко В. А.
Заглавие : Быстрые термообработки в технологии СБИС : монография
Выходные данные : Минск: Изд. центр БГУ, 2004
Колич.характеристики :531 с.: ил.; 21 см
Примечания : Библиогр.: с. 525-527 (30 назв.)
ISBN, Цена 985-476-251-3: 80.00 р.
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.382.049.77.002
ББК : 32.844.1
Предметные рубрики: Электроника-- Микроэлектроника-- Интегральные микросхемы
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электроника--микроэлектроника--интегральные микросхемы--технология сбис--быстрые термообработки--нагрев пластин--лазерное геттерирование--ионнолегирированные слои--эпитаксиальные пленки--диэлектрические пленки--планаризация--дисилицид титана--кремниевые структуры
Аннотация: Рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)