| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска
Электронный каталог
ЭБС "ЛАНЬ"
ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")
ЭБС "ЮРАЙТ"
ЭБС "АЙБУКС"
ЭБС "РУКОНТ"
ЭБС "IPRBOOKS"
ЭБС "BOOK.ru"
Электронная библиотека
Известные деятели культуры в Саратовской губернии
Работы В. А. Артисевич и литература о ней
Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья
Публикации учёных СГУ
Краеведческий обзор
Поступления журналов в ЗНБ СГУ
БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ
БД выпускных квалификационных работ
Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>KL=ионно-лучевое легирование<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.7/К 63
Автор(ы) : Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Буренков А. Ф.
Заглавие : Ионная имплантация : научное издание
Выходные данные : Минск: Унiверсiтэцкае, 1994
Колич.характеристики :303 с. ; 20см
ISBN, Цена 985-09-0036-9: 3000.00 р.
ГРНТИ : 55.22.19
УДК : 621.793.18
Предметные рубрики: Обработка материалов-- Нанесение покрытий
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): легирование--инплантация--ионная имплантация--ионно-лучевое легирование--инплантация атомов--ионное перемешивание--кинетические уравнения
Найти похожие
2.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 620.2/П 27
Автор(ы) : Перинская И. В., Родионов И. В., Перинский В. В.
Заглавие : Мир материалов и технологий: ионно-лучевое конструирование материалов СВЧ микроэлектроники : монография
Выходные данные : Саратов: ИЦ "Наука", 2016
Колич.характеристики :244 с.: ил.; 20 см
Коллективы : Саратовский гос. техн. ун-т им. Гагарина Ю. А., Российская акад. естеств. наук (Москва)
Примечания : Библиогр.: с. 214-217(35 назв.)
ISBN, Цена 978-5-9999-2709-5: 80.00 р.
ГРНТИ : 81.09 + 47.09
УДК : 620.22+621.382.0023
ББК : 30.3 + 32.85
Предметные рубрики: Материаловедение
Электроника-- Микроэлектроника
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--ионно-лучевое легирование--ионно-лучевое конструирование--микроприборы--свч устройства--ионная имплантация--кластеризация--ионно-лучевая защита
Аннотация: Предлагается подход к решению проблемы технологии изготовления монолитно-интегральных схем СВЧ на арсениде галлия - отсутствию метода изготовления ИС СВЧ в одном технологическом цикле на основе единого физико-технического эффекта. Ионная инплантация в качестве базового метода позволяет осуществлять легирование, изоляцию, очистку поверхности, литографию, пассивацию в одной технологической установке в вакууме, необходимые операции изготовления активных и пассивных элементов ИС СВЧ. Монография посвящена разработке физических основ ионно-лучевой технологии микроприборов сверхвысоких частот на арсениде галлия, особенностям применения ускоренных ионов водорода, галлия при создании субмикронных изолирующих областей в монокристаллическом арсениде галлия и эпитаксиальных структурах, имплантации ионов гелия, аргона в металлические слои ИС СВЧ; проблеме качества полупроводниковых структур арсенида галлия; роли процессов кластеризации в технологии легирования и изоляции. Предложены ионно-модифицированные варианты безрезистной литографии изготовления СВЧ полевых транзисторов, металлических резисторов и межслойных конденсаторов, датчиков; способы ионно-лучевой защиты поверхности микроэлектронных изделий от внешних и химических воздействий, ионно-модифицированные аналоги драгоценных металлов для монолитных СВЧ устройств.
Найти похожие
 
Стандартный (по одному полю)
По словарю (по одному полю)
Профессиональный (по нескольким полям со словарями)
Распределенный (г. Саратов)
Расширенный
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)