Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.382/Б 51
Автор(ы) : Берри Р., Холл П., Гаррис М.
Заглавие : Тонкопленочная технология : научное издание
Выходные данные : М.: Энергия, 1972
Колич.характеристики :336 с.: ил.; 21 см
Примечания : Библиогр.: с. 329-335
Цена : 1.50 р.
ГРНТИ : 47.33
УДК : 621.382
Предметные рубрики: Электроника-- Микроэлектроника
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкие пленки--подложки--очистка подложек--пленочные резисторы--проводящие пленки--пленочные конденсаторы
Аннотация: В книге описан ряд важнейших технологических процессов, в том числе получение тонких пленок катодным распылением, подготовка подложек для микроэлектронных схем, создание микроэлектронных рельефов, присоединение выводов, конструирование и методы промышленного производства тонкопленочных схем и применяемое для этих целей оборудование.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)