| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска
Электронный каталог
ЭБС "ЛАНЬ"
ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")
ЭБС "ЮРАЙТ"
ЭБС "АЙБУКС"
ЭБС "РУКОНТ"
ЭБС "IPRBOOKS"
ЭБС "BOOK.ru"
Электронная библиотека
Известные деятели культуры в Саратовской губернии
Работы В. А. Артисевич и литература о ней
Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья
Публикации учёных СГУ
Краеведческий обзор
Поступления журналов в ЗНБ СГУ
БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ
БД выпускных квалификационных работ
Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>KL=ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.382/П 37
Заглавие : Плазменная технология в производстве СБИС
Выходные данные : М.: Мир, 1987
Колич.характеристики :469 с.: ил.; 22см
Примечания : Библиогр.: с. 461. - Пред.-имен. указ. с.: 463
Цена : 3.40,38.00 р.
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.382.049.771.14.002:621.7/9.048.7
ББК : 31.233
Предметные рубрики: Электроника-- Интегральные микросхемы-- СБИС
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диффузионный барьер--силициды--металлизация затвора--травление--параметры--интегральные микросхемы--сбис--осаждение--литография--ионно-плазменные методы--флюоресценция--излучение--лазер--масс-спектрометрия--механизм травления--оптическая литография
Аннотация: Рассмотрены вопросы физики,химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.Книга является своеобразной энциклопедией по физике и химии процессов осаждения,литографии и травления с применением ионно-плазменных методов.
Найти похожие
2.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.38/Ф 50
Заглавие : Физическая электроника : тем. сб. науч. тр. высш. учеб. заведений Литов. ССР
Выходные данные : Вильнюс: Ред.-издат. совет М-ва высш. и сред. спец. образования Литов. ССР, 1980
Колич.характеристики :159 с.: ил.; 21 см
Коллективы : Каунасский политехн. ин-т
Примечания : Библиогр. в конце ст.
Цена : 1.00 р.
ГРНТИ : 47.05
УДК : 621.38
Предметные рубрики: Электроника-- Физическая электроника
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ионно-плазменные методы--прозрачные слои--многокомпозиционные мишени--бомбардировка поверхности германия--ионная имплантация--твердые тела
Аннотация: Рассмотрены основные фазы процессов вакуумного нанесения тонких пленок и покрытий в вакууме, способы и тенденции их образования; генерации молекулярного состояния вещества, переноса вещества от места генерации к поверхности конденсации и процесса взаимодействия молекулярного потока с поверхностью конденсации.
Найти похожие
 
Стандартный (по одному полю)
По словарю (по одному полю)
Профессиональный (по нескольким полям со словарями)
Распределенный (г. Саратов)
Расширенный
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)