| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Шнаревич, Е. И.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.382/Ш 76
Автор(ы) : Шнаревич Е. И., Рыбинский О. А., Злобин В. А.
Заглавие : Диэлектрики интегральных схем : научное издание
Выходные данные : М.: Энергия, 1975
Колич.характеристики :120 с.: ил.; 20 см
Серия: Б-ка радиотехнолога; Вып. 5
Примечания : Библиогр.: с. 111-118 (146 назв.)
Цена : 0.35 р.
ГРНТИ : 47.41
УДК : 621.382-18
Предметные рубрики: Электроника-- Радиоэлектронные схемы
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диэлектрические пленки--микроэлектронные схемы--неорганические вещества--органические вещества--тонкопленочные конденсаторы--химические методы
Аннотация: Книга посвящена изготовлению и применению диэлектрических пленок в микроэлектронной аппаратуре, кратко рассмотрены методы получения диэлектрических пленок из различных классов неорганических (окислов, нитридов, фторидов) и органических веществ и принципиальные схемы применяемых для этой цели установок. Приведены основные диэлектрические параметры пленок в зависимости от технологических режимов их изготовления. Рассмотрены характеристики диэлектрических пленок, обеспечивающие их использование в многослойных системах.
Найти похожие

 
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)